真空干燥機(jī)在準(zhǔn)備階段，以羅茨泵7為主泵，旋片泵9和10為前級(jí)泵的主真空系統(tǒng)，通過主真空閥1，對(duì)真空罐Ⅱ抽真空。蒸發(fā)器I中已通過泵51注入了適當(dāng)量的煤油。在真空罐抽真空的同時(shí)，維持泵34通過冷凝液收集罐Ⅲ、冷凝器38、旁通閥52對(duì)蒸發(fā)器抽真空。抽到接近于當(dāng)時(shí)溫度下煤油對(duì)應(yīng)的飽和壓力。這樣可以認(rèn)為整個(gè)系統(tǒng)的氧氣全排除。然后過飽和水蒸氣通過入口閥50對(duì)煤油加熱蒸發(fā)。

　　準(zhǔn)備階段完了，主真空閥1關(guān)閉，主真空系統(tǒng)停止工作。煤油蒸氣進(jìn)入真空罐，直接冷凝成液體的煤油，返回到蒸發(fā)器。真空罐中還有部分沒有被直接冷凝的煤油蒸氣、水蒸氣和泄漏空氣，同時(shí)進(jìn)入主冷凝器38.蒸氣冷凝成液體進(jìn)入冷凝液收集罐Ⅲ進(jìn)行沉淀分離，空氣則通過泵34排往大氣。

　　高真空階段與準(zhǔn)備階段一樣，由主真空系統(tǒng)對(duì)真空罐抽真空。雖然在降壓階段真空罐中的煤油基本排凈，但絕緣中還會(huì)有殘留煤油。在高真空階段進(jìn)入真空系統(tǒng)的氣體含有一定的煤油蒸氣，在前級(jí)冷凝器6和中間冷凝器8中冷凝成液體，收集在罐22和23中，積累到一定的量，排人大收集罐Ⅲ中。

　　閥4是放氣閥干燥完了后，可向真空罐充氣的閥門。

　　真空計(jì)31、37和49用以測(cè)量相應(yīng)部位的壓力。壓力開關(guān)30用于真空罐中壓力小于給定值時(shí)提供信號(hào)。壓力開關(guān)48和32用于一旦泵統(tǒng)發(fā)生漏氣超過給定值時(shí)的報(bào)警。壓力開關(guān)36和調(diào)節(jié)閥35配合工作，以自動(dòng)調(diào)節(jié)冷凝系統(tǒng)的壓力。手動(dòng)閥40用以調(diào)節(jié)返回的煤油量，以反饋的方式調(diào)節(jié)蒸發(fā)器的加熱功率。

　　閥13、14用于前級(jí)泵停止工作后泵人口充氣。